




根据洁净室车间空气循环特点可以将洁净室分为三种类型:循环空调机配合送风口系统、循环风机配合湿式密封系统和FFU循环系统。
种形式在小规模低等级要求的洁净室车间设计中被广泛应用,洁净工程价格,对于大面积高等级的洁净车间则存在运行成本过高、占用空间过大等缺点。
第二种形式的设计可以满足集成电路制造无尘车间大面积高等级的要求,南通洁净工程,但运行成本较高,并且洁净室风速、风量调节困难,系统升级改造困难,因此操作灵活性很低。
第三种的FFU循环系统不仅节省运行空间、洁净度安全性高、运行成本低,而且操作灵活性很高,可以在不影响生产的情况下随时进行系统升级和调整,这些都能很好地满足半导体制造的需求,因此在半导体制造业FFU循环系统逐渐成为1主要的净化设计方案。

***1品无尘车间地面
GMP净化车间地面、墙壁、天花板使用浅色、***、耐用、平整、以清晰的覆盖材料。地面应有充足的坡度,不积水,墙角、地角、顶角应接缝良好,洁净工程施工,光滑易清洗;
***1品净化车间内地面较多采用硬度好、耐冲击、附着力强、不易起尘且耐热水、酸碱腐蚀的自流平环氧树脂地面,以提高洁净度并使外观平整明亮。
在***1品净化车间内采用免接触式的感应水和手消毒器,避免接触污染,更符合GMP卫生要求。

无尘车间施工要求
1、自流平地面处理,厚度2mm。
2、根据GMP规范要求,缝隙部位要做密封处理。
3、所有的配件与主体结构相连,防止松动和灰尘脱落。
4、缝隙应在正面密封。
5、根据GMP认证检查标准,洁净工程报价,符合下列要求:
a.选用变形小的材料。
b.墙壁和顶棚应平整、易清洗等。色彩要和谐,便于识别污染物。
c.各个相接处的缝隙须密封。
6、作业中的发尘量须随时清扫。
7、装有过滤器的房间,不能有粉尘的作业。
8、保护好作业面,避免造成板材缺陷。

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