




根据洁净室车间空气循环特点可以将洁净室分为三种类型:循环空调机配合送风口系统、循环风机配合湿式密封系统和FFU循环系统。
种形式在小规模低等级要求的洁净室车间设计中被广泛应用,对于大面积高等级的洁净车间则存在运行成本过高、占用空间过大等缺点。
第二种形式的设计可以满足集成电路制造无尘车间大面积高等级的要求,但运行成本较高,并且洁净室风速、风量调节困难,系统升级改造困难,因此操作灵活性很低。
第三种的FFU循环系统不仅节省运行空间、洁净度安全性高、运行成本低,而且操作灵活性很高,可以在不影响生产的情况下随时进行系统升级和调整,这些都能很好地满足半导体制造的需求,净化实验室价格,因此在半导体制造业FFU循环系统逐渐成为1主要的净化设计方案。

对于大部分的无尘净化车间来说,为了保持内部空间的洁净度,需要将内部的静态压力保持在高于外部静态压力的情况下。这种压力差一般要符合一下原则:
1、无尘净化车间内的压力要恒定高于非洁净区域空间的压力。
2、同一个无尘净化车间内的区域,洁净度高的区域压力要恒定高于洁净度低的区域。
3、两个相通的无尘净化车间之间,开门方向要朝向洁净度更高的区域。
保持无尘净化车间中压力差的主要是送风量,且在考虑送风量的时候还要考虑到在压力差的情况下会从缝隙泄漏的空气。
另外,送风量带来的压力主要给予了无尘净化车间压力数量的差别,要在一定时间内造成一定的压力差,还需要一定的气流速度来作为辅助手段,也就是所谓的风速控制。

在对无尘净化车间进行建设之前,很多用户都会考虑到造价的问题。但实际上,大部分的无尘净化车间建设都不存在既定的价格,每个车间的洁净要求和洁净方法都是有一定出入的,所以一般会根据车间内的净化目标来对实际净化空间进行估算。下面我们就列举一下会印象到无尘净化车间造价的因素。
1.级别
市场上的无尘净化车间级别从十级到百1万级不等,级别越小则净化程度越高,相对造价也越高。
2.建设的连续性
有些无尘净化车间在建设时会分成数个甚至数十个***的空间进行净化,而有些则只是几个甚至是一个空间进行净化。更多的空间分割意味着更大的工作量,则造价自然越高。
3.行业
不同的行业对于无尘净化车间的要求是不同的,例如食品行业和家居行业对于卫生的要求就是不同的,一般对于卫生要求更高的行业造价更高。
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