催化燃烧阶段溶剂经风机送入到催化燃烧室前的换热器，然后进入催化燃烧室中的预热器，在电加热器的作用下，使气体温度提高到250-300℃左右，再进入催化燃烧床，有机物质在催化剂的作用下无焰燃烧，被分解为CO2和H2O，同时放出大量的热，气体温度进一部提高，该高温气体再次经过换热器预热未经处理的有机气体，回收一部分热量。从换热器出来的气体再通过新风入口的换热器对脱附新鲜空气进行加热，经过换热后的气体通过烟囱引高排放。
活性炭是应用早、用途较广的一种优良吸附剂。它是由各种含碳物质如煤、木材、石油焦、果壳、果核等炭化后，再用水蒸气或化学***进行活化处理，制成孔穴十分丰富的吸附剂，比表面积一般在700～1500m2/g范围内，具有优异的吸附能力。孔径分布一般为：活性炭50?以下，活性焦炭20?以下，废气处理设备厂，炭分子筛10?以下。炭分子筛是新近发展的一种孔径均一的分子筛型新品种，具有良好的选择吸附能力。活性炭是一种具有非极性表面，为疏水性和亲有机物的吸附剂，故活性炭常常被用来吸附回收空气中的和恶臭物质，在环境保护方面用来处理工业废水和治理某些气态污染物。
工业有机废气低温等离子体处理设备燃烧法是处理高浓度VOC和恶臭化合物的有效方法。其原理是利用多余的空气来燃烧这些杂质，其中大部分是产生的二氧化碳和水蒸气，并可以释放到大气中。当吸附进行了一段时间，因为表面的浓度吸附剂，吸附能力显著降低，吸附净化的要求，此时，有必要采取某些措施，使吸附剂吸附吸附剂解吸，配合吸附能力，这个过程称为吸附剂的再生。VOCs气体解吸后经过冷凝器和气液分离器，纯VOCs气体离开汽提塔回收。
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