截止到2010年，全世界有大约600余家单位从事MEMS的研制和生产工作，RCA清洗机，已研制出包括微型压力传感器、加速度传感器、微喷墨打印头、数字微镜显示器在内的几百种产品，其中MEMS传感器占相当大的比例。MEMS传感器是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。与传统的传感器相比，它具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适于批量化生产、易于集成和实现智能化的特点。同时，在微米量级的特征尺寸使得它可以完成某些传统机械传感器所不能实现的功能。
热水高压清洗机的故障处理方法
2、处理方法 首先看一下点火叉位置是否正确，是否在两个电极顶端有高压电弧，同时看一下喷油嘴是否喷油，这样就可以确定是不点火还是不供油。 (1)不点火 不点火的原因可能是点火叉积炭或位置不对，稍做处理就可解决，必要时可更换点火叉。
清洗设备是指可用于替代人工来清洁工件表面油、蜡、尘、氧化层等污渍与污迹的机械设备。目前市面上所见到清洗设备为：超声波清洗、高压喷淋清洗、激光清洗、蒸汽清洗、干冰清洗及复合型清洗设备等；
晶圆清洗机用于清洗已划片完成的工件，对切割道进行清洗，以便后续UV解胶工作。晶圆清洗机的主要工艺是水清洗、二流体清洗、甩干，其中不同种类工件使用不同的流量、压力等等。本图纸为成熟产品的图纸，已在市面上各大公司使用，大部分为国产元器件，对比国外清洗机不仅具有相当强的优势，且在使用上和工艺上不落下风。
化学清洗槽（也叫酸槽/化学槽），主要有HF，H2SO4，清洗，H2O2，SC-1清洗设备，HCL等酸碱液体按一定比例配置，SC-1清洗台，目的是为了去除杂质，去离子，去原子，后还有DI清洗。IPA是，就是工业酒精，是用来clean机台或parts的，是为了减少partical的。
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