




显微膜厚仪———广州景颐光电科技有限公司是一家专门做膜厚仪的厂家
光学薄膜测厚仪的工作原理及其使用优点
随着科技社会发展,光学的应用也越来越广泛,膜厚测厚仪行业发展也越来越好。其中就有大众所知的光学膜厚测量仪。它利用光学的特点,能够直接检测出物体透明或者半透明涂层的厚度。
光学膜厚测量仪所利用的工作原理,便是光的折射与反射。接下来详细说说光学薄膜测厚仪的工作原理及其使用优点。
这种仪器在测量时,摆放在被测件的上方,从仪器的测头部分发射出垂直向下的可视光线。其中一部分光会在膜的表面形成反射,另一部分则会透过被测试的薄膜,在薄膜与衬底之间的界面形成反射,薄膜表面以及薄膜的底部同时反射的光会造成干涉的现象。仪器便是利用了这一现象,从而测量出薄膜的厚度。
厚度的测量看似简单,实测上所利用的光反射原理,非接触式显微膜厚仪,却是需要经过一系列的设计才能达到如此理想状态。如此光学膜厚测量仪的使用,便也有着其它传统测厚仪所没有的优点。
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光学膜厚仪广泛应用于各种薄膜产品的测量
光学膜厚仪的薄膜光谱反射系统,可以很简单快速地获得薄膜的厚度及nk,广东显微膜厚仪,采用r-θ极坐标移动平台,可以在几秒钟的时间内快速的***所需测试的点并测试厚度,可随意选择一种或极坐标形、或方形、或线性的图形模式,也可以编辑自己需要的测试点。
针对不同的晶圆尺寸,盒对盒系统可以很容易的自动转换,匹配当前盒子的尺寸。
用激光粒度分布仪测试胶体的粒度分布时应配合其它检测手段验证测试结果的准确性,国产显微膜厚仪,同时应使用去离子水作为分散介质,半导体显微膜厚仪,防止自来水中的电解质造成颗粒团聚影响测试结果。
适用于已知折射率的单一物质粒度分布测试,因此测试前要知道被测样品的折射率,折射率选取的不同会对测试结果造成一定的影响。
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影响涂层膜厚仪测量精度的因素
表面粗糙度
基体金属何覆盖层的表面粗糙度对测量有影响。粗糙度增大,影响增大。粗糙表面会引起系统误差何偶然误差。
每次测量时,在不同位置上应增加测量的次数,以克服这种偶然误差。如果基体金属粗糙,还必须在未的粗糙度相类似的基体金属试件上取几个位置校对仪器的零点;或用没有腐蚀性的溶液除去基体金属覆盖层,再校对仪器的零点。
磁场
周围各种电气设备所产生的强磁场,会严重地干扰磁性法测量厚度的工作。
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