一、 了解空气
空气净化 ：去除空气中的污染物质，使空气洁净的行为。
洁净度 ：洁净环境内单位体积空气中含大于或等于某一粒径的悬浮粒子的允许统计数。
洁净室 （区）：需要对尘粒及微生物含量进行控制的房间（区域）。其建筑结构、装备及其作用均具有减少对该房间（区域）内污染源的介入，产生和滞留的功能。
局部空气净化 ：仅使室内工作区域特定局部空间的空气含悬浮粒子浓度达到规定的空气洁净度级别，这种方式称局部空气净化。
单向流 ：沿着平行流线，以一定流速、单一通路、单一方向流动的气流，曾被称为层流。
非单向流 ：具有多个通路循环特性或气流方向不平行的，不满足单向流定义的气流，曾被称为乱流。
无尘室照明设计
无尘室一般为大柱网、大跨度、大空间、无采光窗的密闭厂房，对于在密闭无尘室工作的操作人员来说，为他们提供明亮、舒适的视觉环境，可较大地提高生产效率和精细产品的成品率。因此，适当提高无尘室的人工照明照度水平，提高工作人员的视觉卫生，促进国民经济的发展都是有利的。不过考虑到生产车间的明暗适应，无尘室的走道、休息室的照度与工作是的照度等级不能相差太大，一般相差1~2个等级较合适，但不能低于100 1x。 无尘室工程
不同的洁净工业厂房照度按工艺要求的不同也有较大的差异，如显像管工厂的电子装配车间混合照明的照度要达到1000~3000 1x，除设置一般照明外，还需设置局部照明，无尘室工程改造，局照明占混合照明照度的比例不能太大，一般照明照度为混合照明照度的5~15％。我国由于电力较紧张扩大了局部照明在混合照明中的照度比例。如果空间照度低，容易产生眩光，使人感到疲劳，但光源亮度不能太高，常选用荧光灯等线状光源或带磨砂玻璃的白炽灯。
目前已推出的化学过滤器主要是：
a.活性炭过滤器，大多数是晶粒状的，简易无尘室，有盘片式、蜂窝式等；亦已有活性炭纤维过滤器，无尘室，具有吸附速度快的特点，价格尚较高；还已有晶粒与纤维粘合的过滤器。
b无纺合成织物上浸渍各种功能晶粒（如活性炭、活性铝，但主要是活性炭）以吸附AMC物质。
至今，据报道，φ300mm园片加工除二条试验生产线外，已有四条生产线（德国一条、美国一条、我国台湾二条）开始运转，对AMC的控制情况，当然不详，无尘室设备，但洁净室环境为ISO5～6级，对洁净室设计较简单些。可以看到，今后IC生产，其生产环境的污染控制***必然转到工艺设备及园片传、存放系统的研发及制造上.
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