粗糙和轮廓测量仪器
光切法光切法是利用光切原理来测量表面粗糙度的方法，它将一束平行光带以一定角度投射与被测表面上，形状测量仪器价格，光带与表面轮廓相交的曲线影像即反映了被测表面的微观几何形状，解决了工件表面微小峰谷深度的测量问题，避免了与被测表面的接触。由于它采用了光切原理，所以可测表面的轮廓峰谷的大和小高度，要受物镜的景深和鉴别率的限制。峰谷高度超出一定的范围，形状测量仪器，就不能在目镜视场中成清晰的真实图像而导致无法测量或者测量误差很大但由于该方法成本低、易于操作，所以还在被广泛应用，如上海光学仪器厂生产的9J(BQ)光切法显微镜。
德国业纳检测设备投光器
投光器发出的光直射到，形成光幕系统。放置在投光器和之间的目标物体将会阻挡一部分光线使其不能射到相应的器件。光幕系统使用同步扫描来识别被挡的通道，首先一个投光器通道发出光脉冲而对应的同时来寻找该脉冲，当找到后立即完成一个通道的扫描；接着转到下一个通道直至所有光学通道都完成次的扫描。从光学通道进入扫描开始到所有光学通道都完成.
粗糙和轮廓测量仪器
表面粗糙度轮廓仪是采用一条轮廓中线作为评定基准，借助评定参数：轮廓算术平均偏差Ra、微光不平度十点高度Rz、轮廓大高度Ry、轮廓微观不平度的平均间距***、轮廓的单峰平均间距S、轮廓支承长度率tp等六个参数对表面质量进行评定，终得到所需表面粗糙度的测试检测仪器。表面粗糙度轮廓仪可分为接触式和非接触式。
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