氦质谱检漏仪的检漏率应高于设备所允许漏率1-2个数量级。首先将设备稳固的置于明亮、透风良好的场所，连接好检漏用管路及压力表，应将压力表安装在测漏容器的顶部便于观察的位置。于氦检是通过氦穿过漏孔来检漏的，所以焊缝表面若存有油污、 焊渣以及设备内部的积水、污垢等都会使泄漏孔暂时阻塞而影响检测结果，因此，测试前必须设备内部清理干净及焊缝表面并用热风装置将设备内部干燥。可先用氮气或其它惰性气体将设备压力提高，汽车行业氦检解决方案， 然后用纯氦气或氦气混合气把测试设备的内压增加至测试压力且 应使设备内部至少含有10%-20%的氦气含量。
氦质谱检漏仪主要技术指标：1. 小可检漏率：5×10-12Pa·m3/s。2. 漏率显围：1×10-3—1×10-12Pa·m3/s氦质谱检漏仪不会受到主观因素判断的影响；检测的数据；自动生成数据保存，可追溯数据来源。氦气检漏仪关键零部件集优采购，保证了系统的稳定性和可靠性；真空箱内氦气本底抑零，保证了检漏的准确性、；
寻求一种合适的检漏方法，对汽轮机真空系统进行行之有效的检漏和堵漏工作，提高机组的真空严密性及真空已成为改善机组运行状况、节能降耗以及机组安全运行的一项重要工作。氦质谱检漏技术是一种 应用于国内外对真空容器检漏的***技术，氦质谱检漏技术的高灵敏度和无损性早已成功地应用于航天、电子、制冷等领域。应用氦质谱检漏技术对火电厂汽轮机真空系统进行检漏的方法，近几年已在电力生产中逐渐推广应用。
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