感应加热设备经历了从电子管、晶闸管到目前采用IGBT的发展历程。
早期的感应加热设备以大功率真空电子管为构成单级自激振荡器，把高压直流电能转换成高频交流电能，由于电压变换环节较多、电子管转换效率低，设备的总体效率一般在50％以下，水和电能的消耗非常大。与电子管设备相比，晶闸管式感应加热设备的效率大为提高，达到85％左右，但其谐振频率较低、逆变换流部分相当复杂、损耗仍然较大。而采用IGBT的感应加热设备总体效率在90％以上，谐振频率可达数百千赫兹，且结构大为简化，有色金属熔炼坩埚，设备可靠性、功率因数等其它品质均得以显著提高。
频率选择感应加热频率的选择：根据热处理及加热深度的要求选择频率，频率越高加热的深度越浅。高频（10KHZ以上）加热的深度为0.5-2.5mm， 一般用于中小型零件的加热，如小模数齿轮及中小轴类零件等。中频（1~10KHZ）加热深度为2-10mm，一般用于直径大的轴类和大中模数的齿轮加热。工频(50HZ)加热淬硬层深度为10-20mm，一般用于较大尺寸零件的透热，大直径零件（直径300mm以上，如轧辊等）的表面淬火。经验公式感应加热淬火表层淬硬层的深度，取决于加热的厚度，而加热的厚度又取决于交流电的频率，一般是频率高加热深度浅，淬硬层深度也就浅。频率f与加热深度δ的关系，有如下公式：式中：f为频率，单位为Hz；δ为加热深度，单位为毫米（mm）。
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