苏州晶淼半导体(图)-湿法腐蚀机-衡阳湿法

(2)不供油 如果是不供油，则要检查油泵是否在正常工作，湿法腐蚀台，打开回油管，查看回油管内是否有正常的油回出，如果有油回出则可判定是供油电磁阀没有工作。解决方法是用万用表量一下电磁阀是否损坏(一般为24Ω左右)，如果电磁阀损坏则更换电磁阀；如没有损坏，就需要检查它是否接收到电压信号；如没有电压信号，则可判定为电路故障，这时要从温控到压力开关、流量阀、油位开关逐一检查，衡阳湿法，哪里不通即可判定故障所在位置，修复即可解决。如无正常回油则可判定是油泵损坏，更换或修复即可

全自动湿法超声波胶塞清洗机由清洗机构、热风机构、出料机构、全自动控制机构、吸料机构、蒸汽装置和抽真空装置组成。吸料机构由吸料管和抽真空装置组成，抽真空装置包括真空泵、水分离器、管道和阀门，真空泵前连通有水分离器，真空泵后和清洗箱连通，蒸汽装置由蒸汽喷管、管道和阀门构成，蒸汽管道通过蒸汽进汽阀和清洗箱内的蒸汽喷管连通，灭菌效果好，时间大大缩短。胶塞内外含水率低，保用期长，湿法清洗台，吸料快，湿法腐蚀机，不损伤胶塞。

在现有的清洗技术中通过使用兆声清洗来提高清洗产品的质量，由于硅片的生产的相关要求，其兆声的施加方式通常是使用装有超声波槽通过水的传导将兆声震动传导至清洗槽，但此流程在现有技术中存在一定的问题，由于不同的清洗槽在进行清洗处理时均处于一个高于常温状态的温度(以边缘抛光后清洗的sc-1槽为例，清洗硅片时温度为78℃。