广州潽拓光电科技有限公司——岛津磁悬浮泵
岛津EI-D2003M磁悬浮分子泵驱动器可以控制的分子泵Shimadzu TMP-2003M/MC、TMP-2003LM/LMC等
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涡轮分子泵是一种用来获取高真空的真空泵，典型的工作压力是 0.0001Pa、0.00001Pa，但在极限状态下，可以通过它实现 0.00000001Pa（大气压的十万亿分之一）的超高真空。
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分子泵出现机封渗油
故障剖析：机封毁坏；密封性旋盖未铺平；装配线部位不对。
解决方法：拆换机封；调节密封性旋盖；再次按技术标准装配线。
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Shimadzu岛津TMP-2804LMC磁悬浮分子泵维修
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正确地组合真空泵，由于真空泵有选择性地抽气，因而有时选用一种泵不能满足抽气要求，岛津磁悬浮泵TMP-403维护，需要几种泵组合起来，岛津磁悬浮泵TMP1503***，互相补充才能满足抽气要求。若真空系统严格要求无油时，则应该选各种无油泵作主泵。如果要求不严格，则可选择有油泵，岛津磁悬浮泵，然后加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。
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