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随着现代分析仪器的发展，国外对高纯气体的分析经历了离线分析(off-line)、在线分析(on-line)和原位分析(in-situ)三个阶段。我国在高纯气体分析方面，也已进入在线分析阶段，且分析检测的灵敏度高，可以实现气体中痕量金属杂质的分析测试 [3]。然而，杂质捕获仪，由于一些气态样品不能直接导入分析仪器进行金属成分的测量，一般需要把气体样品***行液体化，杂质捕获仪生产厂家，即将含有金属杂质的气体样品捕集到溶液中，以该溶液为样品，才能选定合适的检测手段进行分析。由于高纯气体中的金属杂质含量低至ppb至ppt级，因此，对测定时使用的取样方法(防止样品污染)、检测方法以及分析测试仪器(灵敏度和检测限等)均提出了更高的操作要求。本文综述了电子气体中金属杂质的一些捕集方法以及几种不同的检测方法。

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稀碱溶液(0.1 mol/L氢氧化铵)作为吸收液，杂质捕获仪多少钱，然后在吸收液中加入，加热时形成挥发的四去除硅基体；采用1%和1%氢氧化铵混合液作为烷和磷烷的吸收液，然后在烷吸收液中加入浓盐酸，加热形成挥发的三氯化除去基体；而对于磷烷吸收液则采用强碱性阴离子树脂静态分离去除磷基体。取样系统如图2所示，与图1取样系统不同的是，烷类气体取样前先用惰性气体清洗系统十分钟，且取样完毕后再用惰性气体清洗以确保安全。

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金属探测器人机界面模块均由人机界面的单片机控制显示液晶采用液晶屏。单片机通过高速同步串行口(SPI)实现通信。根据实际情况，单片机的为了跟上运行速度晶振选用晶振两边的电容有微调作用大小选用系统的工作原理:单片机通过接收数据此数据包括4部分:4个LED报警指示灯柱状LED信号指示灯液晶屏汉字对应英文的点阵数据液晶数字对应的七段数码管数据。单片机将其转换成字符分别在液晶屏LED指示灯显示出来。有键按下时单片机把按键指令送到指令发送新的数据SPI收到新的数据液晶屏显示内容以及LED指示灯都会发生变化。