无油(耐腐蚀)立式往复真空泵是卧式真空泵的更新换代产品，是获得粗真空的主要设备。由于采用全密封装置，实现了曲轴箱和汽缸的完全隔离；加上活塞环使用了自润滑材料，便实现了***的无油润滑。由于无污水排放，所以该型真空泵特别适用于化工、和食品等行业的真空蒸馏、真空蒸发、真空干燥、真空浓缩、真空浸渍等工艺过程中。
定片式真空泵：在泵壳内装有一个与泵内表面靠近的偏心转子，泵壳上装有一个始终与转子表面接触的径向滑片，当转子旋转时，滑片能上下滑动将泵腔分成两个可变容积。余摆线式真空泵：在泵腔内偏心装有一个型线为余摆线的转子，它沿泵腔内壁转动并将泵腔分成两个可变容积。多室旋片式真空泵：在一个泵壳内并联装有由同一个电动机驱动的多个***工作室的旋片真空泵。
真空泵根据使用的范围和抽气效能可将真空泵分为三类：(1)一般水泵，压强可达到1.333~100kPa(10~760mmHg)为"粗"真空。(2)油泵，压强可达0.133~133.3Pa(0.001~1mmHg)为"次高"真空。(3)扩散泵，压强可达0.133Pa以下，(10-3mmHg)为"高"真空。若要较低的压力，那就要用到油泵了，好的油泵能抽到133.3Pa(1mmHg)以下。在有机化学实验室里常用的减压泵有水泵和真空泵两种，若不要求很低的压力时，可用水泵，如果水泵的构造好且水压又高，抽空效率可达1067~3333Pa。水泵所能抽到的低压力理论上相当于当时水温下的水蒸气压力。例如，水温25℃、20℃、10℃时，水蒸气的压力分别为3192、2394、1197Pa(8-25mmHg)。用水泵抽气时，应在水泵前装上安全瓶，以防水压下降，水流倒吸；停止抽气前，应先放气，然后关水泵。
