高纯供气系统
供气系统的连接应符合 GB 50236－2011《现场设备、工业管道焊接工程施工规范》等标准的要求［11］。管道的连接应采用法兰连接或焊接等方法，氢气管道不应使用丝扣连接; 高纯气体管道应采用承插焊接; 气体管道与设备、阀门与管道或管件的连接应采用丝扣或法兰连接; 丝扣接头中的填料应采用聚四氟乙烯膜、一氧化铅、甘油调合填料; 对于高纯气体管道与阀件的连接应采用高压双卡套接头连接。
气体管路控制系统作用
主要由气源切换系统、管道系统、调压系统、用气点、监控及报警系统组成。对于一些易1燃易1爆气体，如氢气等，可能在设计和施工过程中稍有差异，必须加入气体回火防止器等安全控制装置。
阀门是在流体系统中，用来控制流体的方向、压力、流量的装置，是使配管和设备内的介质(液体、气体、粉末)流动或停止并能控制其流量的装置。阀门是管路流体输送系统中控制部件，用来改变通路断面和介质流动
方向，具有导流、截止、节流、止回、分流或溢流卸压等功能。
气体管路控制系统可以用于管理控制气体供应，包括流量，压力，开关等，同时带有泄漏报警1灯功能，能够有效保护用气安全。
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高纯供气系统
本公司生产的RZ-YA-D系列全自动气纯化装置功能说明：
A、具有全自动功能，使用操作简单，开、停机只需按两个按钮，不需扭动任何阀门，这些工作都由PLC程序自动进行；这还克服了手动和半自动机型因人为操作失误引起的气体不纯，因此纯气质量也更加稳定。
B、控制文本显示器采用合资品牌-***通泰7吋液晶触摸屏，实时模拟显示工作流程状态和各种参数显示，并随时可以实现各参数的修正，极大的方便工作人员的操作。
C、可根据用户需要配备在线分析仪，时时在线监测。
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