海南高纯供气-北京艾明坷公司-高纯供气公司

高纯供气系统

净化则采用了世界***的净化材料。其特点有吸附深度好，海南高纯供气，吸收杂质气体量大的特点，高纯度可达99.9999%以上。2.并安装了小于1μ的金属过滤器。保证了气体粉末的要求。3.本装置的阀门采用国内外阀门公司的产品，保证了产品的高纯度无渗透及性。4.设备中全部容器、管道、阀门均为不锈钢材质。5.设备中的主要控制仪表全部采用国内外***产品。6.接头采用***的高纯接头，保证了无渗透。

高纯气体的输送管路系统

随着微电子工业的发展，超大规模集成电路制造的硅片尺寸越做越大，高纯供气价格，要求半导体制造工艺中的气体品质相应越来越高，对气体中杂质和露1点要求极为严格，需要达到ppb、ppt级，尘埃粒径求控制小于0.1～0.05m的微粒，因此对高纯气体的输送管路系统提出了非常高的要求 。

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特种气体的应用

电子工业是当今推动科技发展的高新技术产业，由于所用气体的品种多、质量要求高，为有别于其它领域应用的气体，人们把这类在电子工业中用的气体统称为电子特种气体，它是当今兴起的高技术含量、高投入、高附加值的高新技术产业。电子行业常用的特气超过三十余种，按***性质可分为不燃气体、可燃气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体等。按照物理形态可分为压缩气体、液化气体和低温气体。

特种气体的应用领域主要在集成电路制造、太阳能电池、化合物半导体、液晶显示器、光纤生产四大领域，其中主要应用于半导体集成电路的生产制造。在半导体工业中应用的有110余种单元特种气体，高纯供气系统，其中常用的有20～30种。

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