超纯水是在纯水的基础上经过光氧化技术、精处理和抛光处理等一系列复杂的纯化技术制得的。这样的水是一般工艺很难达到的程度，理论上可以采用二级反渗透再经过串联的混合型交换树脂柱对二次反渗水进行处理，但是交换树脂的再生不便，质量难以保证，EDI是解决树脂酸碱再生，巧妙地将电渗析技术和离子交换技术相结合，经二级反渗透系统＋EDI系统产水可达到一个普通的超纯水水质电阻率≥10mΩ.cm2。超纯水水质比较复杂，以电阻率为标准区间≥10mΩ.cm2、≥15mΩ.cm2、≥18mΩ.cm2。超纯水*高可达到18.23mΩ.cm2，这时的设备需要经过树脂抛光混床处理，过流的水质不能接触金属。
超纯水一般用于电子、电力、电镀、照明电器、实验室、食品、造纸、日化、建材、造漆、蓄电池、化验、生物、制药、石油、化工、钢铁、玻璃等领域
纯水设备紫外杀菌装置在纯水出水地方，选用浸入式杀菌的方法，在终端设备取水口加装终端过滤装置，那样可以合理的避免 纯水里边的病菌。制药业领域生产制造自来水对水环境要求是比较高的，因而为了更好地更完全的除去水里的微生物，病原菌等，确保制药业领域饮用水的一个安全，通常纯水系统设备工艺技术通常都会添加消菌杀菌装置。
与超滤及反渗透膜分离过程一样，纳滤也是以压力差为推动力的膜分离过程，工业用纯水系统，是一个不可逆过程。纯水处理设备其分离机制可以运用电 荷模型（空间电荷模型和固定电荷模型）、细孔模型以及近年来才提出的静电排斥和立体阻碍模型等来描述。与其他膜分 离过程比较，纳滤的一个优点是能截留透过超滤膜的小分子量的有机物，又能透析反渗透所截留的部分无机盐——也就是 能使“浓缩”与脱盐同步进行。 NF膜分离需要的跨膜压差一般为0.5-2.0MPa，比用反渗透膜达到同样的渗透能量所必须施加的压差低0.5-3Mpa。在同等 的外加压力下，纳滤的通量要比反渗大得多，而在通量一定时，纳滤所需的压力则比反渗透的低很多。
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