




中国电子气体是仅次于硅片和硅基材料的第二大市场需求半导体材料,电子气体2016年的需求为48.02亿,占比14%。据半导体协会统计,目前常用的电子气体纯气有60多种,混合气80多种。中国电子气体经过近10年的发展,国内涌现了一些生产质量稳定,能够被半导体客户接受的电子气生产企业,但是,与巨大的、快速发展的国内需求相比还远远不够,据业内不完全数据统计,从2012年至2016年,国内电子气体企业实际生产销售额占中国晶圆制造电子气市场需求由3.8%增加至25.0%,高纯氮气,预计2017年将增加至28.4%,虽然有了较大的发展和进步,但国内电子气体企业生产总量远远满足不了需求。
工业气体的性通过吸入途径******,与******发生化学或物理化学作用,从而造成对的损害,并******的正常生理机能,引起功能或器质变,导致暂时性或持久理损害,甚至危及生命。有***体的毒性影响,与有***体的本身性质、******的途径及***数量、暴露接触时间长短、作业人员防护设施用品及身体素质等各种因素有关。有***体易散发于作业场所的空气中,高纯氮气供应,对作业人员的影响。有***体的气瓶在充装、储运、使用过程中,其主要危害是由于有***体***造***体慢性或由于气瓶(包括瓶阀)破损导致有***体外溢所引起的***急性。
工业清洗剂的使用技术要求有:(1)清洗污垢的速度要快,污垢能溶解,高纯氮气生产,因此要求清洗剂自身对污垢有很强的分解或溶解能力,在一定时间内,能够去除污垢。(2)对清洗对象而言,应不会对其造成损伤,即使有损伤,也应在生产许可范围内,如果清洗对象是金属,那么应有相应的防腐蚀措施。(3)清洗所用药剂应容易获得,且成本要低,以便减少资源消耗和浪费。(4)清洗剂应对生物或环境***,不会污染环境,它使用时所产生的废气、废液或废渣,应符合***规定的相关要求。(5)清洗条件应温和,尽量不依赖于附加的强化条件,也就是说对温度、压力以及机械性能等的要求不能过高。(6)在清洗过程中,使用清洗剂后,在清洗对象表面不会产生残留物,更不会产生新的污垢,也不能形成不利于后续工序的覆盖层,高纯氮气价格,对产品的质量也要无任何影响。(7)清洗过程中不会产生异味,也不会产生影响清洗过程及现场卫生的泡沫。(8)清洗剂不能是的,不能对清洗对象形成潜在的安全威胁。
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