在线清洗，无需降温和拆卸模具，避免了化学清洗法对模具的腐蚀和损害、机械清洗法对具的机械损伤及划伤，显影腐蚀机，以及反复装卸导致模具精度下降等缺点。关键的是，显影腐蚀台，可以免除拆卸模具及等待模具降温这两项比较耗时间的步骤，这样均可以减少暂停时间约80%-95%。干冰清洗益处： 干冰清洗可以降低工时；减少设备损坏；极有效的清洗高温的设备；减少或降低溶剂的使用；改善工作人员的安全；增进***效率；减少生产工期、降低成本、提高生产效率。
在对液晶玻璃进行的等离子清洗中，使用的活化气体是氧的等离子体，它能除去油性污垢和有机污染物粒子，因为氧等离子体可将有机物氧化并形成气体排出。它的问题是需要在去除粒子后加入一个除静电装置，其清洗工艺如下：
吹气－－氧等离子体－－除静电
通过干式洗净工艺后的LCD及其电极ITO，洁净度、粘结性得到大大改善相关产品：大气等离子 ， 大气等离子清洗机 ， 大气等离子表面活化 ， 大气等离子表面清洗 ， 大气等离子表面刻蚀 ， 常温常压等离子 ， 常温常压等离子设备 ，显影清洗， 等离子清洗 ， 等离子除尘 ， 等离子刻蚀 ， 等离子接枝 ， 等离子沉积 ， 等离子改性 ，鹤岗显影， 等
残留的光刻胶、树脂、残留物和其他有机污染物暴露在等离子体中，清洗机 slc (100)可以在短时间内去除。等离子表面清洗和表面改性（等离子表面处理）利用等离子的特性对待处理固体原料的表面进行清洗、活化和激发，去除表面的微观结构、化学性质和能量。目的是改变。等离子体是一种高能、不稳定的状态。等离子体以各种方式用于利用这种高能量和不稳定性。
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