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氦质谱检漏仪

随着科技的迅猛发展，氦质谱检漏仪及其应用技术也在不断发展和究善。各国的设备厂商相继推出了多种类烈的氦质谱检漏仪，广泛应用丁航空航天，电力电子，汽车等各个行业，综观1新氦质谱检漏仪的性能特点发现，氦质谱检漏仪正向着高灵敏度、自动化、宽程、等***方向发展，这些特点很好地满足了当前检漏应用的需求，也极大地1推动了氮质谱检漏技术的不断发展。

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高纯供气系统

高纯气体，通常指利用现代提纯技术能达到的某个等级纯度的气体。对于不同类别的气体，纯度指标不同，例如对于氮，氢，氦而言，通常指纯度等于或高于99.999%的为高纯气体。而对于氧气，纯度为4个9即可称高纯氧；对于碳氢化合物，纯度为99.99%的即可认为是高纯气体。氧气是无色，无味，***，不燃的气体，是强氧化剂，能助燃，它与可燃性气体按一定比例混合后容炸。压缩氧气与油脂接触，温度超过油脂燃点时可发生自燃，因此，在与氧气接触的地方，只能使用经过认可的材料。

特种气体的应用

电子工业是当今推动科技发展的高新技术产业，由于所用气体的品种多、质量要求高，为有别于其它领域应用的气体，人们把这类在电子工业中用的气体统称为电子特种气体，它是当今兴起的高技术含量、高投入、高附加值的高新技术产业。电子行业常用的特气超过三十余种，按***性质可分为不燃气体、可燃气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体等。按照物理形态可分为压缩气体、液化气体和低温气体。

特种气体的应用领域主要在集成电路制造、太阳能电池、化合物半导体、液晶显示器、光纤生产四大领域，其中主要应用于半导体集成电路的生产制造。在半导体工业中应用的有110余种单元特种气体，其中常用的有20～30种。

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