广州普发磁悬浮分子泵TG2003M维修-广州潽拓光电(图)

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AGILENT Turbo-V 1K-G分子泵维修，安捷伦Turbo-V 1K-G分子泵***

特点：

      Turbo-V 1K-G 不仅是一台泵。该装置是专门为薄膜沉积设备精心设计的分子泵系统。其叶片级数和泵的整体结构均经过优化，可以在高流速的气氛围下和温度极高的环境中工作。另外，普发磁悬浮分子泵TG2003M维修，可通过远程机架控制器或泵机一体式控制器来驱动泵。所有这些特点使安捷伦 Turbo-V 1K-G 成为了镀膜工业的真空解决方案。

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大阪真空osak***acuum定期***方法

1、要经常检查油位位置，不符合规定时须调整使之符合要求。确保以真空泵运转时，油位到油标中心为准。

2、经常检查油质情况，发现油变质应及时更换新油，以确保真空泵工作正常。

3、定期检查真空泵管路及结合处有无松动现象。用手转动真空泵，试看真空泵是否灵活。并检查轴套的磨损情况，磨损较大后应及时更换。

5、真空泵换油期限按实际使用情况和能否满足性能要求等情况考虑，一般新真空泵，建议在工作100小时左右换油一次。待油中看不到黑色金属粉末后，以后可适当延长换油期限。

6、一般情况下，真空泵工作2000小时后需要进行检修，检查橡胶密封件老化程度，检查排气阀片是否开裂，并清理沉淀在阀片及排气阀座上的污物。用清洗整个真空泵腔内的转子、旋片、弹簧等，并烘干，橡胶件类清洗后用干布擦干即可。清洗装配时一定要轻拿轻放小心碰伤。

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大阪涡轮分子泵前级配置

日本大阪涡轮分子泵所配置的前级泵抽速，应满足

Sp> Qmax/ pj

式中， Sp——前级泵的抽速，L/s;

pj——涡轮分子泵前级压力，通常为2Pa;

Qmax——大流量，Pa. L/s，涡轮分子泵平稳抽速范围为10-1~10-7 Pa。故大流量Qmax值应等于10-1Pa下的抽速与该压力之积。

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广州潽拓光电维修VARIAN TURBO-V 1K-G

广州潽拓光电科技有限公司维修Turbo-V 1K-G涡轮分子泵

     特性：

1、为薄膜沉积应用而专门设计的分子泵解决方案

2、极快的抽速和高气体通量

3、耐用型的设计和运行的冷却系统，可实现连续运行

4、能够保护轴承的气体吹扫

5、机架式 N***igator 控制器的样品架类型

6、通用电子器件接口和操作简单的控制软件

7、模拟 I/O 信号和 RS232/RS485 接口（为标准Agilent Profibus 接口选项）