20世纪60年代，美国公司发现了一种具有均匀微孔结构的立方晶格铝硅酸盐化合物。这些微孔具有均匀的直径，可以将小于其直径的分子吸附到空腔中，对极性分子和饱和分子具有优先吸附能力，从而分离不同极性、饱和度、分子大小和沸点的分子。简单来说，它就像一个筛子，制氧机，可以把大豆和土块分开，但是大豆被空气代替，所以这种化合物在工业上使用时被称为分子筛。这种通过吸附分离空气成分的过程称为变压吸附，是很多商家宣传的PSA工艺。20世纪70年代，这项技术一次用于工业，***制氧机投放，但当时的设备还是比较大的。
制氧机原则上可分为电子制氧机、化学制氧机、富氧膜制氧机、PSA制氧机。种制氧机要么工艺复杂，要么由于能产生的氧气浓度低而基本被废弃。目前市场上比较有前景的是PSA制氧机，所以我们***介绍PSA制氧机的原理。变压吸附空分设备采用好的碳分子筛作为吸附剂，利用变压吸附原理，直接从压缩空气中获取氮气。由于不同压力下碳分子筛对氧气的吸附能力明显不同，因此可以通过降低压力使碳分子筛吸附的氧气分子脱附，从而使碳分子筛得以更新、反复循环、交替，连续生产出高质量的氮气。
工业制氧机的分离空气主要由两个装有分子筛的吸附塔组成。常温下，压缩空气经过滤、脱水、干燥后进入吸附塔。在吸附塔中，空气中的氮气被分子筛吸附，制氧设备租赁，使得氧气在气相中富集并储存在氧气缓冲罐中，而已经在另一个塔中被吸附的分子筛被快速减压，被吸附的组分被分解。两塔交替循环可使纯度≥90%。整个系统的阀门自动切换由计算机自动控制。
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