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安徽谱纯气体科技有限公司

普通会员6
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企业等级:普通会员
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企业地址:合肥市经开区翡翠路天时广场二期2204室
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安徽谱纯气体科技有限公司成立于2016年,主要经营各种高纯稀有气体,电子气,气体,标准气,电光源混合气等;另外为广大客户提供用气咨询,超净气体管道设计方案,特种气体气瓶柜(含自动报警),容器,减压器,阀门仪表,充装设备选型和安装服务等;我司由气体**组成,在气体纯化(低温精馏),气体分析技术,气体生......

工业四氟化碳厂家-谱纯气体|气源充足-南通四氟化碳

产品编号:1000000000021633417                    更新时间:2023-01-17
价格: 来电议定
安徽谱纯气体科技有限公司

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  • 主营业务:气体,特种气体
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产品详情





电子四氟化碳是目前半导体行业主要的等离子体蚀刻气体之一,在硅、二氧化硅、金属硅化物以及某些金属的蚀刻,以及低温制冷、电子器件表面清洗等方面被广泛应用。而电子特气系统为它保驾护航,保证四氟化碳(CF4)的纯度和安全稳定使用。在填有氢氧化铬的高温镍管中进行,反应后的气体经水洗、碱洗除去酸性气体,再通过冷冻,南通四氟化碳,用硅胶除去气体中的水分,经精馏而得成品。由碳与氟反应,或与氟反应,或碳化硅与氟反应,高纯四氟化碳厂,或氟石与石油焦在电炉里反应,都能生成四氟化碳。


对于硅和二氧化硅体系,采用CF4-O2反应离子刻蚀时,通过调节两种气体的比例,可以获得45:1的选择性,这在刻蚀多晶硅栅极上的二氧化硅薄膜时很有用。四氟化碳的热稳定性更好。化合物的热稳定性主要与化学键的键能及键长有关。零下198 °C时,四氟化碳具有单斜的结构,晶格常数为a = 8.597, b= 4.433, c = 8.381 (.10-1 nm), β = 118.73° 。四氟化碳是可作为氟和自由基氟化碳的来源,用于各种晶片蚀刻工艺。四氟化碳和氧结合用以蚀刻多晶硅、二氧化硅和氮化硅。





它在大气中的寿命约为50,000年,增温(暖化)系数是6,工业四氟化碳厂家,500(二氧化碳的系数是1)。虽然结构与氟氯烃相似,但四氟化碳不会***臭氧层。四氟化碳是目前微电子工业中用量大的等离子蚀刻气体,其高纯气及四氟化碳高纯气配高纯氧气的混合体,可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨薄膜材料的蚀刻。预先称取5~10g的碳化硅粉末和0.1g的单质硅粉,置于镍盘中,使硅和碳化硅充分接触后,四氟化碳报价,将镍盘放入蒙乃尔合金反应管中,向反应管内通入氟气,氟气先和单质硅反应。





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