残留的光刻胶、树脂、残留物和其他有机污染物暴露在等离子体中，清洗机 slc (100)可以在短时间内去除。等离子表面清洗和表面改性（等离子表面处理）利用等离子的特性对待处理固体原料的表面进行清洗、活化和激发，去除表面的微观结构、化学性质和能量。目的是改变。等离子体是一种高能、不稳定的状态。等离子体以各种方式用于利用这种高能量和不稳定性。
MEMS传感器应用于无创胎心检测，检测胎儿心率是一项技术性很强的工作，由于胎儿心率很快，在每分钟l20～160次之间，用传统的甚至只有放大作用的超声***仪，用人工计数很难测量准确。而具有数字显示功能的超声***，价格昂贵，仅为少数大***使用，在中、小型***及广大的农村地区无法普及。此外，超声振动波作用于胎儿，湿制程清洗设备，会对胎儿产生很大的不利作用。尽管检测剂量很低，也属于有损探测范畴，湿制程腐蚀设备，不适于经常性、重复性的检查及家庭使用。
电子元件半导体在使用超声波清洗机清洗过程需要辅助清洗液效果才能更显著。清洗液的选择，要根据电子产品器件材料不同，采用水基溶剂、市水、纯水、作为清洗介质。清洗介质不同，工艺、流程则也不同。一般塑胶材料多采用市水、水基、纯水作为清洗媒介，湿制程，其工艺流程中应清洗对像的不同要求，湿制程清洗台，多附带电子红外线烘干线。并可配备的抛动、旋转等清洗工艺使工件表面更加洁净。金属材料则多采用溶剂作为清洗介质，配以溶剂过滤及回收装置，以降低成本。
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