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上轴承为性磁悬浮轴承：无需清洁、振动小、磨损低 配有手动放气阀（可选配电磁阀，用于全自动放气）Holweck拖曳分级技术，实现高吞吐量和高前级压力差带有吹扫口，提供制程气体稀释，以保护电机和下轴承
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