




集成电路无尘车间是为了满足半导体制造工艺需求的洁净室,该无尘车间对环境洁净度、温湿度、振动、ESD、AMC控制等都有一定的要求。相对于其他工业洁净室,集成电路制造无尘车间有面积大、洁净等级高、温湿度控制精度高等特点。
对于无尘车间面积小,陕西洁净车间,较分散;对振动、噪声等的控制要求相对较低的情况下,适合采用分散式空调净化系统。其优点是***费、运行费、占用建筑面积及空间都较集中式系统节省。一个比较典型的分散式空调净化系统为例,分析讨论如下。
??风热湿比线占。
??②根据房间余热量Q或余湿量W,按净化级别所要求的通风量G,确定在占线上的送风状态点S。Q-G(iN -/S)。
??③过S点作等d线,并根据加压风机的压头及其后的管道、静压箱与周围环境的换热决定气流的温升缸,一般情况At的值不大于1℃,根据温升量出,在过S的等d线确定c-,洁净车间装修,使At= ts - tc’。
??④根据空调机组在给定条件下的制冷量Qk及空气质量流量G。,确定其单位风量的携冷量△f。即室内回风经空调机组处理后的焓降量iN -/K。
??QK/GK=△f=iN -/K 。
??以N点为圆心,以iN -/K值为半径画弧线与。=90%~95%相对湿度线相交于K点。由N至K点的变化过程应是降温去湿的减焓过程。
??⑤连结K点与Os点。延长N点与C、点的连线与KQs线相交于C点。C点即为新风与经空调机组处理的回风的混合状态点。
关于无尘车间工程,很多对其有所了解的人都会知道这个行业是起源于***行业。起初是由于***行业本身极高的卫生要求使得无尘车间工程的萌芽,后续为了更好地管理***生产,无尘车间工程的规范也越来越高,越来越标准化。
而无尘车间工程后续的发展不是如人们所想的那样,从吃的***行业进而过渡到吃的食品行业,而是先往工业发展,其中较早的便是精密电子行业。
早期的精密电子行业只是对于车间内的粉尘颗粒有所要求,洁净车间公司,随着科技的发展,精密电子行业的产品开始微小化,温湿度也逐渐变成了影响精密电子行业的重要因素。
无尘车间工程的发展使得空气中粉尘和温湿度得到了有效的人工控制,精密电子的生产不受到环境的影响。于是只有技术的发展才能成为制约精密电子行业发展的因素。
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