优势：?采用闭环控制器的高反应溅射率?出色的气体分离技术?灵活配置以满足特定的生产需求?3、5或7倍微调气体分布以提高涂层均匀性?优化的磁性配置，具有出色的均匀性和利用率?兼容工业机器人的自动装卸
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薄膜干涉中两相干光的光程差公式为式中n为薄膜的折射率；t为入射点的薄膜厚度；θt为薄膜内的折射角；±λ/2 是由于两束相干光在性质不同的两个界面（一个是光疏-光密界面，另一是光密-光疏界面）上反射而引起的附加光程差。薄膜干涉原理广泛应用于光学表面的检验、微小的角度或线度的精密测量、减反射膜和干涉滤光片的制备等。
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