




硅片腐蚀利用晶硅腐蚀作用,去除硅片在多线切割锯切片时产生的表面损伤层,同时利用对硅腐蚀的各向异性,争取表面较低反射率较低的表面织构。解释:①现有多晶硅片是由长方体晶锭在多线切割锯切成一片片多晶硅方片。由于切片是钢丝在金刚砂溶液作用下多次往返削切成硅片,金刚砂硬度很高,会在硅片表面带来一定的机械损伤。如果损伤不去除,会影响太阳电池的填充因子。②是在国民经济生产中大量应用化工产品。由电解水而得,价格比较便宜,每500克6元。化学反应方程式为:2N*** + 2H2O ==通电== 2NaOH + Cl2↑ + H2↑ 。分③碱性腐蚀优点是反应生成物无·,不污染空气和环境。不像HF-HNO3酸性系统会生成有·的NOx气体污染大气。另外,碱性系统与硅反应,基本处于受控状态。有利于大面积硅片的腐蚀,可以保证一定的平行度。
按照刻蚀工艺划分,其主要分为干法刻蚀以及湿法刻蚀。干法刻蚀占主导地位。干法刻蚀主要利用反应气体与等离子体进行刻蚀,利用等离子体与表面薄膜反应,形成挥发性物质,或者直接轰击薄膜表面市值被腐蚀的工艺。干法刻蚀的优势在于能够实现各向异性刻蚀,即刻蚀时可控制仅垂直方向的材料被刻蚀,而不影响横向材料,从而保证细小图形转移后的保真性。因此在小尺寸的***工艺中,已经基本采用干法刻蚀工艺。湿法刻蚀工艺主要是将刻蚀材料浸泡在腐蚀液内进行腐蚀,该刻蚀方法会导致材料的横向纵向同时腐蚀,会导致一定的线宽损失。
清洗机
喷丝板清洗机是指于行业喷丝板的清洗的机械设备,在主要的运行过程中,主要还是利用超声波进行产品清洗。喷丝板的作用是将黏熔体或溶液通过微孔转变成有特定截面的细流,经过凝固介质固化而形成丝条。
使用该款设备,明显的优点就是它的操作比较简单。超声波清洗机槽的槽底装置的超声波振子是由美国进口的高频Q振子,连接超声波电箱即可使用。就产品设备装置来看,该设备通常都是由经过加工的不锈钢钢板配套而成,厚度达到3mm,完全达到***安全颗粒度。
除此之外,喷丝板清洗机一般都会采用台装置的过滤、抛动、慢拉等循环系统,都是由进口的高科技制作而成,提高了物件清洗的速度。