无尘车间硬件设施的维护管理
1.无尘车间保持适当的正压(> 0.5mmAq)，防止洁净系统漏风。人员、设备和原材料进入无尘车间前，***室净化报价，应做好清洁、擦拭等防尘工作，并妥善管理和设置空气过滤器。
2.防止室内粉尘产生:注意无尘车间材料的正确选择，如隔板和地板；制造设备的防尘、生产自动化和人员不聚集、清洁服装的管理、无尘车间设备的使用等。
3.室内灰尘不堆积:墙体应光滑无死角，无尘车间应定期维护和清洁，工艺设备周围应留有空间。
4.发生尘埃立即排除。
根据洁净室车间空气循环特点可以将洁净室分为三种类型：循环空调机配合送风口系统、循环风机配合湿式密封系统和FFU循环系统。
种形式在小规模低等级要求的洁净室车间设计中被广泛应用，对于大面积高等级的洁净车间则存在运行成本过高、占用空间过大等缺点。
第二种形式的设计可以满足集成电路制造无尘车间大面积高等级的要求，但运行成本较高，并且洁净室风速、风量调节困难，系统升级改造困难，因此操作灵活性很低。
第三种的FFU循环系统不仅节省运行空间、洁净度安全性高、运行成本低，而且操作灵活性很高，可以在不影响生产的情况下随时进行系统升级和调整，这些都能很好地满足半导体制造的需求，因此在半导体制造业FFU循环系统逐渐成为1主要的净化设计方案。
1.在个门口，地上贴着一张蓝色的胶纸，踩上去把鞋底的东西粘下，然后脱掉鞋子拎在手里走进去，***室净化造价，然后把鞋放在指1定的个人鞋柜里。这时的鞋不是我们平时穿的鞋，而是在进车间后立马换上的工鞋。工鞋是基本不会带出车间的。
2.存完鞋后走到风淋室门口拿起备好的小黑布片按规定的步骤在脸上擦几下后进入那七拐八拐的风淋室，风把头发吹的像群1魔乱舞。
3.出了风淋室，又得拿水浇湿的纸按规定步骤擦脸，戴眼镜的还得洗眼镜。
4.下面进入穿衣服环节。
(1)先带发网，保证所有的头发都在发网里，耳朵也得进去;
(2)接着是净化帽，带上这个后头部就只有眼睛露在外面了，其他部位都被罩住了，淮安***室净化，说是帽子，其实把上身都快遮完了;
(3)然后穿上身和下身连在一起的净化服，
(4)还有净化鞋，跟靴子似的。
(5)完了是戴橡胶手套，必须把手套的口套在袖子的层袖口外面再把袖子的第二层袖口拉到手套外面。
5.再然后洗手，洗带着手套的手。
6.洗完必须烘干才能进又一个风淋室，要求风淋时间不少于28秒。
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