




各种不同的加湿器的应用范围不同:如:淋水、湿膜、高压喷雾等水加湿器,其特点是加湿量大、***费用低,而相对湿度控制精度较差,因此多用于相对湿度要求不严格(> ±10%),净化室厂家,加湿量很大的工业厂房和一般舒适用空调房间的空调系统加湿。而相对湿度控制精度高的干蒸汽加湿和电极(电热)式加湿因***较高则多用在相对湿度精度要求严格的恒温恒湿洁净室的空调系统加湿中。
近几年来,车间净化室,由于技术之创xin发展,对于产品的高精密度化、细小型化之需求更为迫切,福州净化室,如超大型积体电路之研究制造,已成为世界各guo在科技发展上极为重视的项目,而我公司的设计理念及施工技术在行业中则处于领地位。学微电子净化工程一般包括:1、 洁净生产区2、 洁净辅助间(包括人员净化用房、物料净化用室和部分生活用室等)
复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气。(1)洁净隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响工作及品质。ULSI制程大都采用此种型式。
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