爱德华复合分子泵-广州潽拓光电公司-爱德华复合分子泵工作原理

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    莱宝Leybold turbovac MAG W 3200涡轮分子泵


     TURBOVAC MAG W 3200 C/CT常用于半导体工业使用的涡轮分子泵。在半导体工业，涡轮分子泵用于以下应用场合：- 蚀刻；- 溅射；- 离子注入；- CVD；- 光刻。这些应用中，经常需要抽除腐蚀性气体。需要使用配有吹扫气体设备的磁悬浮分子泵，爱德华复合分子泵联系电话，以免轴承损坏。尤其对于金属蚀刻，涡轮分子泵的泵内可能发生沉积现象， 选用带温度控制的扩展附件在MAG 1500 C、MAG 2000 C、MAG2800和MAG 3200可以防止这种情况。与机械轴承涡轮分子泵相比，磁悬浮泵的优势在于气体流量较大时可以防止轴承过热，爱德华复合分子泵，能够有效地防止腐蚀性介质对磁悬浮轴承的损坏。

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    维修出售莱宝Leybold TRUBOVAC 35 LS二手分子泵

 广州潽拓光电科技有限公司代理及维修的分子泵品牌有：  

法国阿尔卡特：Alcatel Adixen 

英国爱德华：BOC Edwa***   

日本精工：Seiko Seiki  

岛津：Shimadzu   

德国莱宝： Oerlikon Leybold      

普发：Pfeiffer Balazer   

意大利瓦里安： Varian  

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潽拓维修出售 PPS-90 便携式分子泵机组

     PPS-90系列便携式分子泵机组，为高真空抽气系统提供了解决方案。改泵组采用TURBOVAC 90 I分子泵

作为高真空泵，前级搭载双极旋片油泵或浮动式涡旋干泵。PPS-90系列分子泵机组配置真空测量规管

数据采集卡，选配真空规管套件后只需将数据线连接在采集卡上，便可轻易读取真空度数值。