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它是一种利用吸气剂以化学结合方式捕获气体的真空泵。吸气剂通常是以块状或沉积新鲜薄膜形式存在的金属或合金。升华泵即属于这种型式。
3)吸气剂离子泵
它是使被电离的气体通过电磁场或电场的作用吸附在有吸气材料的表面上,以达到抽气的目的。它有如下几种型式。
⑴蒸发离子泵:泵内被电离的气体吸附在以间断或连续方式升华(或蒸发)而覆在泵内壁的吸气材料上,以实现抽气的一种真空泵。
⑵溅射离子泵:泵内被电离的气体吸附在由阴极连续溅射散出来的吸气材料上,日本爱发科真空泵油,以实现抽气目的的一种真空泵。

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干式真空泵是光伏产业的晶体生长和硅片生产的必备设备。2019年度中国大陆硅片产能 173.7GW,日本爱发科真空泵油供应商,晶体生长和硅片生产每 GW 需要约 200 台干式真空泵。根据隆基股份、中环股份、晶澳科技、晶科能源等光伏产品制造商的公告,预计 2020 年-2022 年每年将新增硅片产能约 50GW,亦即每年因新增硅片产能增加干式真空泵市场需求约 7 亿元。综上,预计未来几年光伏产业对干式真空泵的市场需求为每年 12-15 亿元。日本爱发科真空泵油

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