





必须确定每一种工艺要求的真空度。因为每一种工艺都有其适应的真空度范围,要认真研究确定适合这样工艺的真空是怎样的。确定达到要求的真空度所需要的时间、真空管道的流阻,泄漏。考虑达到要求真空度后在一定工艺要求条件下维持真空需要的抽气速率。在确定了工艺要求的真空度的基础上检查罗茨真空泵系统的极限真空度,因为系统的极限真空度决定了系统的佳工作真空度。一般来讲,系统的极限真空度比系统的工作真空度低20%,比前级泵的极限真空度低50%。日本爱发科真空泵

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全压用薄膜真空计测量。薄膜真空计中常用的是差动式双电容薄膜计,它不但测量精度高,而且测量下限可达10-3Pa。它有一个高真空基准膜盒,薄膜计的示值实际上是传感器的测量值与基准膜盒相比较的结果,基准膜盒由于存在着放气和漏气,它的真空度会非常缓慢、不断地下降,因此薄膜计的零位应该经常进行校准,尤其是对低量程的1Torr(133Pa)和0.1Torr(13Pa)的传感器而言,它的影响更大,故基准膜盒应根据具体变化情况,日本爱发科真空泵价格,及时进行高真空处理或更换。

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人们通常把能够从密闭容器中排出气体或使容器中的气体分子数目不断减少的设备称为真空获得设备或真空泵。目前在真空技术中,采用各种不同的方法,已经能够获得和测量从大气压力105Pa到10-13Pa,宽达18个数量级的压力范围。显然,只用一种真空泵,获得这样宽的低压空间的气体状态,是十分困难的。
在真空获得技术中,目前用以获得真空的技术方法有两种,日本爱发科真空泵,一种是通过某此机构的运动把气体直接从密闭容器中排出;另一种是通过物理、化学等方法将气体分子吸附或冷凝在低温表面上。利用这两种方法所制造的各种真空泵种类较多,分类方法各异,但是,常用的方法还是按泵的工作原理或其结构特点加以分类。这一点,我们将在下一节中介绍。

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