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真空泵的范围要求及工作压强

真空泵在进行使用的过程中，其工作强度应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：真空镀膜要求1×10-5mmHg的真空度，选用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。

正确的选择其真空泵的工作点，每种泵都有一定的工作压强范围，如：扩散泵为10-3~10-7mmHg，在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化，其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmHg。因而，南京真空泵，泵的工作点应该选在这个范围之内，而不能让它在10-8mmHg下长期工作。

真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空;有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。

真空泵操作须知，需要注意哪些问题呢？

1.极限真空不高及其消除 （1） 油位太低，有较大排气声，可加入清洁的真空泵油。（2） 泵油为可凝性蒸汽所污染，可开气镇净化或更换新油。（3） 泵口外接管道、容器、测试仪表管道、接头等漏气。大漏时，有大排气声，排气口有气排出，应找出漏气部位，进行消除。（4） 进气咀或气镇阀橡胶密封图装配不当，损坏或老化，应调整或更换。（5） 进油咀油孔堵塞，真空泵供应商，可拔出进油咀，疏通油孔。（6） 真空系统严重污染，包括容器、管道等，应予清洗。（7） 旋片弹簧折断，应予调换。（8） 旋片、泵身或盖磨损，间隙过大，应进行检查，修整或调换。（9） 泵温过高，应改善通风和冷却。如所抽气体温度太高，应予先冷却后再进入泵内。 

2.喷油 （1） 油位过高，可入出多余油量。（2） 减雾器中有泵油或杂物，应清除。

3.漏油 放油螺塞，油箱垫片损坏或装配不当，螺钉拧紧；油标未拧紧，有机玻璃过热变形；泵身部件与支座的连接挚垫片未垫好；油封装配不当或磨损；应予调整或更换。 

4.噪声 （1） 旋片弹簧折断，可调换弹簧。（2） 有毛刺、脏物或变形，运转发生障碍，应检查修磨清洗。（3） 轴承磨损，零件磨损。应修整或更换。（4） 电机出毛病，应进行检查。

5.返油 (1) 止回阀未关好，停泵后，油位很快下降，可再开再停，观察变化或拆开检查。(2) 两泵盖内油封装配不当或磨损，可进行调换。(3) 泵盖或泵身平面不平整，可进行修整。(4) 排气阀片损坏，应进行调换。

如何解决水环真空泵的漏气问题

1、水环真空泵密封不严：拧紧所有的联接螺栓，工业真空泵，拧紧填料压盖，紧紧地包缠管道及仪表与其它部件连接的地方。或者更换垫片、填料。对于空气泄漏之处，还可以涂上油石灰等作为临时的补救措施。

2、轴承歪斜：这种现象使叶轮倾斜地装在水环真空泵泵体中。对于单作用泵而言，其轴向间隙不均匀，叶艳旋转时，必然会有一部分与侧盖摩擦，擦伤侧盖和叶轮端面，使轴向间隙增大。压缩腔气体在通过增大了的间隙时，大量地泄漏到吸入腔里去，使真空度或排气压力降低。这时就要将轴承拆下来进行修理，真空泵采购，然后再进行正确地安装。

3、前后侧盖不同心：可能真空泵的前后侧盖有着较大的不同轴度，后果与轴承歪斜的相同。

　　注意：如果水环真空泵温度升高，饱和蒸汽压也随之升高，这样就会降低真空度，但这对排气压力是没有什么影响的。要解决真空泵的漏气问题，首先就是必须做好密封，使用专门的密封件，一定要更换新的轴承。