10万级无尘车间标准：尘粒1大允许数大或等于0.5微米的粒子数不得超过3500000个，大于或等于5微米的粒子数不得超过20000个。
尘粒无处不在，侵蚀风化产生的，***自然散发的，数不胜数，严重干扰电子光学产品的生产。此外，尘粒是***、病毒的良好的载体，也影响了食品的加工。净化车间工程的首要任务便是“除尘”。
0.5微米是什么概念?一根头发丝的直径约为70～100微米，生物实验室净化，***的大小约为1微米～2微米，通过净化空气系统，使大于或等于5微米的粒子数不得超过20000个，洁净度非常高。
无尘车间内之注意事项
1、进入无尘车间之油漆或物品须先经空气清洗除尘之手续。
2、在无尘车间中制止抓头、抹脸或搓手。
3、严禁在设备上书写及刻画。
4、在无尘室有必要运用洁无尘室纸笔。
5、防止在机器上运用胶带张贴纸张。
6、当运用气1时，有必要置于除尘抽风口，以免尘埃污染产品。
异常情况处理
1、在设备发生异常情况（非紧迫情况），请先与设备之担任人或设备部工程师联络后再作处置。
2、遇有气体外泄，实验室净化装修，***翻洒及火警等紧迫情况请告诉担任人员。
废弃物处理
1、一切废弃物及用过之***应依规则之方式处理及倾倒。
2、随时坚持整洁，勿将废物留给别人，手套、指套、废弃物请勿随手丢，应置入废物桶内。
3、勿将酸及有1机溶剂混合倾倒，以免爆1破。
4、有1机废溶剂应倒入容器中贮存，勿倒入排水体系中。
根据洁净室车间空气循环特点可以将洁净室分为三种类型：循环空调机配合送风口系统、循环风机配合湿式密封系统和FFU循环系统。
种形式在小规模低等级要求的洁净室车间设计中被广泛应用，对于大面积高等级的洁净车间则存在运行成本过高、占用空间过大等缺点。
第二种形式的设计可以满足集成电路制造无尘车间大面积高等级的要求，但运行成本较高，净化实验室工程，并且洁净室风速、风量调节困难，淮安实验室净化，系统升级改造困难，因此操作灵活性很低。
第三种的FFU循环系统不仅节省运行空间、洁净度安全性高、运行成本低，而且操作灵活性很高，可以在不影响生产的情况下随时进行系统升级和调整，这些都能很好地满足半导体制造的需求，因此在半导体制造业FFU循环系统逐渐成为1主要的净化设计方案。
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