






光电仪器中的保护玻璃和分划板、制造集成电路的基片、平面显示器玻璃,精密光学平板,都是属于一般精度要求的平板类平面光学零件,由于这类零件的需求量日益增大,使这类零件的双面加工技术逐渐发展成熟。
双面加工技术指同时对平板类光学零件的两个平面同步进行加工的技术。显然,这种两面同步加工的技术,比每个面分别单次加工的效率要高得多,但相应的设备要求和控制要求也要高得多。
光学平台广泛运用于光学、电子、精密机械制造、冶金、航天、航空、航海、精密化工和无损检测等领域,光学面包板定制,以及其他机械行业的精密试验仪器、设备振动隔离的关键装置中。 随着***的设备和工艺的发展,使纳米量级的测量成为可能。例如,变相光学干涉仪测量物体的表面粗糙度,光学平板,目前可以达到1纳米的分辨率。在半导体领域,已生产出线宽在亚微米量级的集成电路,提出测量准确率小于50纳米的精度要求。

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