




全自动硅片腐蚀清洗机
全自动硅片腐蚀清洗机型号:CGB-XXXX—XX系列,品牌:华林嘉业—CGB。该设备适用于2英寸、3英寸、4英寸、5英寸、6英寸、8英寸硅晶圆片的清洗腐蚀,显影清洗,德国进口磁白PP板经雕刻后热弯/焊接组合加工;一、槽体结构:该槽体实现腐蚀或后残留在片子上的化学液及污染颗粒的冲洗祛除功能。它由安装在槽体底部的排阀、DI注入孔(包括氮气鼓泡)及顶部左右两侧的DI喷嘴实现槽体的快速注入与排放。二、工艺控制:冲洗槽(QDR)的工作过程由***K200型控制器保证。所有工序均由机械手自动行走自动完成。
ND-0105吊臂式超声波清洗机,是由上料、超声初洗、超声波清洗、市水超声漂洗、喷淋漂洗、热风烘干、下料等七个工位组成的一条吊臂式超声波清洗机,廊坊显影,其工作原理是利用超声波空化渗透力强的机械振动冲击工件表面并结合溶剂型清洗剂的化学除油、去污作用使工件表面洁净;同时结合热风烘干等工艺,使工件从清洗到洁净一次完成。
设备特点:
1.设备清洗方式采用超声波清洗+旋转助洗方式,显影清洗机,可有效清洗产品的盲孔难洗部位,显影腐蚀台,达到预期效果
2.整机采用PLC控制,自动化程度高,清洗干燥过程中无需人工操作,有效减低了劳动强度,节省了人力资源
3.可设定多套清洗工艺,满足不同产品的清洗要求
4.主要工艺流程(配旋转洗兰): 洗剂喷淋→洗剂超声清洗→超声漂洗→鼓泡漂洗→热漂洗→离心抛干+热风搅拌→热风循环干燥→真空干燥→静电消
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