等离子清洗法利用等离子体产生的自由基与有机***反应，再以气流的方式去除，从而达到清洗的目的。由于AP功率强，一般会对金属表面产生影响，所以，徐州硅片，在金属制程中一般不采用AP Pla***a的清洗技术。AP使用的气体主要是氮气和空气按照一定的比例混合，硅片清洗台，同时，和玻璃基板保持合适的距离，加载一定的电压，从而产生自由基，对基板表面进行清洁。
中国清洗行业的现状
中国清洗行业的现状另一方面，硅片清洗机，我国到处都在建设新的工厂和生产线．正在逐步成为“世界加工厂”．巨大的市场需求．为工业清洗设备制造商和清洗剂生产供应商提供了快速发展的良机．
目前．各种清洗设备生产制造经营企业已达1000多家，其中，超声波清洗机生产企业已从20世纪90年代初的几家发展到现在的200多家；清洗剂生产经销企业也有1000多家，从而形成了一个巨大的产业．
清洗作为一种人们日常生活中的基本活动，大家已经习以为常，普遍到没有人重视．我国在20世纪80年代以前，还没有出现清洗行业的概念． 但是，近年来，随着经济的快速发展和人们生活水平的提高．清洗也越来越引起人们的关注．一方面，90年代以后，随着经济发展和社会进步，清洗活动范围逐步扩大，出现了大批的清洗公司．特别是近几年．大量的下岗人员参与该领域的活动，各种各样的清洗公司遍及各地．他们通常既从事一般工业清洗，硅片酸洗设备，也从事民用清洗．据不完全统计，目前。已经有各种清洗公司2000多家，从业人员30多万．
超声波清洗 ：
超声波清洗是利用超声波在液体中的空化作用、加速度作用及直进流作用对液体和污物直接、间接的作用，使污物层被分散、乳化、剥离而达到清洗目的。目前所用的超声波清洗机中，空化作用和直进流作用应用得更多。
按频率波可以分为三种，即次声波、声波、超声波。次声波的频率为20Hz以下；声波的频率为20Hz~20kHz；超声波的频率则为20kHz以上。其中的次声波和超声波一般人耳是听不到的。超声波由于频率高、波长短，因而传播的方向性好、穿透能力强，这也就是设计制作超声波清洗机的原因。
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