光谱荧光膜厚仪-新乡荧光膜厚仪-景颐光电欢迎来电(图)

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涂层膜厚仪工作原理及校验方法

感应加热系统为了产生所需要的加热速度，工作在高功率计。相反，涡流检查为了减小热损失和温度变化，通常工作在很低的功率级。此外在涡流设备中，由于被检查零件中的一些变化（如由于出现缺陷或尺寸改变所引起的变化）所引起的电负载改变，可通过电子电路来监视。

无论在涡流检测还是在感应加热中，工作频率的选择主要由“趋肤效应”决定。这种效应使涡流向接近带电感应线圈的零件表面集中。集肤效应随频率的增加而更加明显。

使用涡流法测厚时，利用高频交电流在探头线圈中产生一个电磁场，当探头靠近导电基体时，在导电基体中形成涡流，探头与导电基体之间有非导电覆盖层阻隔，覆盖层越薄，导电基体中形成的涡流越大，对探头线圈产生反馈作用越大（反射阻抗越大），这个反馈作用量表征了探头与导电基体之间距离的大小，通过测量反馈作用的大小可测量出导电基体上非导电覆盖层的厚度大小。

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光学膜厚测量仪

光学膜厚仪是通过测量一定波长内光线垂直入射到样品表面时，薄膜表面的反射光来测量薄膜的厚度、粗糙度及光学常数。由于光学测量膜厚方法准确、无***，且光谱反射法比椭偏仪操作简单、测试速度快，适合测量具有结构的薄膜。

设备性能指标：

1、测量薄膜厚度范围：4nm～30um（使用10x、15x物镜，光学荧光膜厚仪，样品折射率为1.5左右时，4nm～2um（使用40x物镜）；

2、测试面积：光栏尺寸（250um）/物镜倍率；

3、该设备显微镜物镜：5x、10x、15x、40x。其中5x物镜用于寻找测试区域，10x和15x物镜用于测试薄膜厚度；

4、40x物镜用于测试厚度低于2um的薄膜厚度；

5、测试精度：测试膜层总厚度的0.2%或2nm中的较大者；

6、光源：灯、钨灯；

7、测试波长范围：190nm～1100nm；

8、大测试样品尺寸：8寸。

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涂层膜厚仪校验方法

涂层膜厚仪常用的校验方法就是零点校准以及多点校准。

1.零点校准：就是在该产品的金属底材（无涂层的基体）上进行归零校准。

（1）选定一块调零板，反射荧光膜厚仪，调零板就是无涂层的金属底材。（由于工件表面粗糙度不同，光谱荧光膜厚仪，调零后，再测不一定是的零位，新乡荧光膜厚仪，这属于正常现象。）

（2）在一起的侧单界面，选择校准，然后零位校准，然后将探头垂直并平稳地紧压在基体上，一起会自动进行零位校准。

（3）重复上述的1、2步骤，就可以可以获得更加的零点，提高测量精度。

2.多点校准：使用标准片来进行校准，这种校准方法适用于高精度测量及小工件、淬火钢、合金钢。

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