




半导体膜厚仪———广州景颐光电科技有限公司是一家专门做膜厚仪的厂家
非接触式测厚仪
非接触式测厚仪顾名思义就是测量仪器与被测物体非接触测量,能够很好的保护所测物体。在工业生产中多用来连续测量产品的厚度(如钢板、钢带、纸张、涂层、板材、薄膜、片材等)。
非接触式测厚仪有激光膜厚仪、电涡流测厚仪,半导体膜厚仪价格,根据应用不同,又可分为薄膜测厚仪,镀层测厚仪和板材测厚仪
激光在线测厚仪是新一代研制的在线、非接触式的测厚仪。它集激光光源,光电检测和计算机工业控制技术三者于一身,半导体膜厚仪哪家好,是我国工业生产线产品质量控制的重要设备。
主要技术特点:
非接触式、在线测量
采样速度快(8000个/秒)、精度高,且性能稳定,濮阳半导体膜厚仪,操作简单
厚度范围0~500mm(或可按要求设定范围)
精度可达1um。
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涂层膜厚仪标准片选择与使用
使用可靠的参考标准块校准仪器。测量不确定度直接取决于校准标准块的测量不确定度和测量精度。
参考标准块应具有的已知单位面积质量或厚度的均匀的覆盖层,如果是合金,则应知其组成。参考标准块的有效或限定表面的任何位置的覆盖层不能超过规定值的±5%。
只要用于相同的组成和同样或已知密度的覆盖层,规定以厚度为单位(而不是单位面积质量)的标准块,将是可靠的。合金组成的测定,校准标准不需要相同,但应当已知。
金属箔标准片。如果使用金属箔贴在特殊基体表面作标准片,就必须注意确保接触清洁,无皱折纽结。任何密度差异,除非测量允许,否则必须进行补偿后再测。
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光学膜厚仪广泛应用于各种薄膜产品的测量
光学膜厚仪的薄膜光谱反射系统,可以很简单快速地获得薄膜的厚度及nk,半导体膜厚仪厂家,采用r-θ极坐标移动平台,可以在几秒钟的时间内快速的***所需测试的点并测试厚度,可随意选择一种或极坐标形、或方形、或线性的图形模式,也可以编辑自己需要的测试点。
针对不同的晶圆尺寸,盒对盒系统可以很容易的自动转换,匹配当前盒子的尺寸。
用激光粒度分布仪测试胶体的粒度分布时应配合其它检测手段验证测试结果的准确性,同时应使用去离子水作为分散介质,防止自来水中的电解质造成颗粒团聚影响测试结果。
适用于已知折射率的单一物质粒度分布测试,因此测试前要知道被测样品的折射率,折射率选取的不同会对测试结果造成一定的影响。
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