




硅片清洗烘干
方法:湿法清洗+去离子水冲洗+脱水烘焙(热板150~2500C,1~2分钟,氮气保护)
目的:a、除去表面的污染物(颗粒、有机物、工艺残余、可动离子);b、除去水蒸气,是基底表面由亲水性变为憎水性,增强表面的黏附性(对光刻胶或者是HMDS-〉二硅胺烷)。
化学清洗槽(也叫酸槽/化学槽),主要有HF,H2SO4,LED清洗设备,H2O2,HCL等酸碱液体按一定比例配置,目的是为了去除杂质,去离子,去原子,后还有DI清洗。IPA是,扬州LED,就是工业酒精,LED腐蚀机,是用来clean机台或parts的,是为了减少partical的。
石油化工
清洗主风机、气压机、烟机、汽轮机、鼓风机等设备及各式加热炉、反应器等结焦结炭的清除。清洗换热器上的树脂;清除压缩机、储罐、锅炉等各类压力容器上的油污、锈污、烃类及其表面污垢;清理反应釜、冷凝器;复杂机体除污;炉管清灰等。
清洗设备是指可用于替代人工来清洁工件表面油、蜡、尘、氧化层等污渍与污迹的机械设备。目前市面上所见到清洗设备为:超声波清洗、高压喷淋清洗、激光清洗、蒸汽清洗、干冰清洗及复合型清洗设备等;
晶圆单片式清洗机拥有比槽式清洗机更好的清洗效果,更能适应于半导体新制程工艺。
根据客户需求可定制2/4/6/8/12/16腔室,单腔室大处理速度可达到35片/小时。
可根据客户需求定制适用于8寸/12寸硅片清洗内部集成精密的化学药液配比装置和废液回收装置(可选)。
应用:专为清洗和蚀刻而设计,适用于前道和后道工艺清洗。
LED腐蚀机-扬州LED-苏州晶淼半导体由苏州晶淼半导体设备有限公司提供。“半导体清洗机,半导体清洗设备,半导体湿法设备”选择苏州晶淼半导体设备有限公司,公司位于:苏州工业园区金海路34号,多年来,苏州晶淼半导体坚持为客户提供好的服务,联系人:王经理。欢迎广大新老客户来电,来函,亲临指导,洽谈业务。苏州晶淼半导体期待成为您的长期合作伙伴!