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1767年，约瑟夫·普利斯特里做实验发现，真空泵厂家，在带电金属容器的内部，电作用力为零。从这实验结果，他准确猜测，带电物体作用于彼此之间的吸引力与万有引力都遵守同样的定律。
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产生阴极射线。物理学者发现，阴极射线是以直线传播，但其传播方向会被磁场偏转。阴极射线具有可测量的动量与能量。1897年，约瑟夫·汤姆孙做实验证实，阴极射线是由带负电的粒子组成，真空泵油过滤器，称为电子，因此他发现了电子。
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罗茨真空泵系统的减震方法主要是通过加强管道的刚度和改进传动系统来实现的。此外，可以根据生产材料的使用环境选择减振措施，这也是有效的。也可以采用三叶罗茨真空泵，应用于真空机组。
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