





真空镀膜技术的发展趋势
目前计算机和信息技术的基础是超大规模集成电路;但下个世纪的基本元件将是纳米电子集成电路。它是微电子器件的下一代,有自己的理论、技术和材料。现有微电子器件的主要材料是极纯的硅、锗和鎵等晶体半导体。纳米电子器件有可能是以有机或有机/无机复合晶体薄膜为主要原料,真空pvd镀膜价格,要求纯度更高,结构更完善。真空制备的清洁环境,有希望加工组装出纳米电子器件所要求的结构。另据文献报道,真空pvd镀膜,利用真空镀膜技术可以制备出纳米电子器件进行组装所要求的平整基底。
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