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涡轮分子泵系统软件实际操作常见问题及常见问题清除:(1)不可以在前面泵工作中时(前面管路接入)和真空系统处在真空泵情况时将涡轮分子泵停用,shimadzu进口真空泵的维护,不然可能使油蒸气快速过去级管道反流到泵的清理端。
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真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。如果出现工艺过程不允许的情况,应选择无振动的泵或者采取防振动措施,防止真空泵在工作时振动对环境的影响。
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