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压力传感器分类

扩散硅压力变送器是把带隔离的硅压阻式压力敏感元件封装于不锈钢壳体内制作而成。它能将感受到的液体或气体压力转换成标准的电信号对外输出，DATA-52系列扩散硅压力变送器广泛应用于供/排水、热力、石油、化工、冶金等工业过程现场测量和控制。

半导体压电阻抗扩散压力传感器是在薄片表面形成半导体变形压力，通过外力（压力）使薄片变形而产生压电阻抗效果，从而使阻抗的变化转换成电信号。

静电容量型压力传感器，是将玻璃的固定极和硅的可动极相对而形成电容，将通过外力（压力）使可动极变形所产生的静电容量的变化转换成电气信号。 （E8Y的动作原理便是静电容量方式，其他机种采用半导体方式）。

压力传感器初始误差

1.偏移量误差：由于压力传感器在整个压力范围内垂直偏移保持恒定，电容式压力传感器，因此变换器扩散和激光调节修正的变化将产生偏移量误差。

2.灵敏度误差：产生误差大小与压力成正比。如果设备的灵敏度高于典型值，灵敏度误差将是压力的递增函数。如果灵敏度低于典型值，那么灵敏度误差将是压力的递减函数。该误差的产生原因在于扩散过程的变化。

3.线性误差：这是一个对压力传感器初始误差影响较小的因素，该误差的产生原因在于硅片的物理非线性，但对于带放大器的传感器，还应包括放大器的非线性。线性误差曲线可以是凹形曲线，也可以是凸形曲线称重传感器。

4.滞后误差：在大多数情形中，压力传感器的滞后误差完全可以忽略不计，电容式压力传感器生产厂家，因为硅片具有很高的机械刚度。一般只需在压力变化很大的情形中考虑滞后误差。

压力传感器性能参数

1. 额定压力范围额定压力范围是满足标准规定值的压力范围。也就是在较高和较低温度之间，传感器输出符合规定工作特性的压力范围。在实际应用时传感器所测压力在该范围之内。

2. 较大压力范围较大压力范围是指传感器能长时间承受的较大压力，且不引起输出特性改变。特别是半导体压力传感器，为提高线性和温度特性，电容式压力传感器批发，一般都大幅度减小额定压力范围。因此，即使在额定压力以上连续使用也不会被损坏。一般较大压力是额定压力较高值的2－3倍。

3. 损坏压力损坏压力是指能够加在传感器上且不使传感器元件或传感器外壳损坏的较大压力。

4. 线性度线性度是指在工作压力范围内，传感器输出与压力之间直线关系的较大偏离。

5.压力迟滞为在室温下及工作压力范围内，从较小工作压力和较大工作压力趋近某一压力时，传感器输出之差。

6.温度范围压力传感器的温度范围分为补偿温度范围和工作温度范围。补偿温度范围是由于施加了温度补偿，精度进入额定范围内的温度范围。工作温度范围是保证压力传感器能正常工作的温度范围。