中科净(厦门)净化科技有限公司是一家从事净化(洁净室,cleaning room)工程、实验室整体工程的技术咨询、工程设计、施工安装、检测调试及运行维护,具有自主创新、研发、生产、销售为一体的高新技术企业。
例如在大规模集成电路生产的光刻***工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,***室净化工程,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,***室净化工程,特别是怕钠的半导体车间,这种车间温度不宜超过25度,湿度过高产生的问题更多。
中科净(厦门)净化科技有限公司是一家从事净化(洁净室,***室净化,cleaning room)工程、实验室整体工程的技术咨询、工程设计、施工安装、检测调试及运行维护,具有自主创新、研发、生产、销售为一体的高新技术企业。
洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。
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相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外,湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面难以清除。
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