简易无尘室-无尘室- 清阳净化系统工程(查看)

目前已推出的化学过滤器主要是：

a.活性炭过滤器，大多数是晶粒状的，无尘室，有盘片式、蜂窝式等；亦已有活性炭纤维过滤器，具有吸附速度快的特点，价格尚较高；还已有晶粒与纤维粘合的过滤器。

b无纺合成织物上浸渍各种功能晶粒（如活性炭、活性铝，但主要是活性炭）以吸附AMC物质。

至今，据报道，φ300mm园片加工除二条试验生产线外，已有四条生产线（德国一条、美国一条、我国台湾二条）开始运转，对AMC的控制情况，当然不详，但洁净室环境为ISO5～6级，对洁净室设计较简单些。可以看到，今后IC生产，其生产环境的污染控制***必然转到工艺设备及园片传、存放系统的研发及制造上.

无尘室工程概述

无尘室工程(Clean Room)，亦称为无尘室或清净室。它是污染控制的基础。没有无尘室，污染敏感零件不可能批量生产。在 FED-STD-2里面，无尘室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间，其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度，从而达到适当的微粒洁净度级别。无尘室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、***空气、细1菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。

无尘室工程洁净度气流分布

无尘室工程按等级划分洁净室被分为10到10万级，千级无尘室，然而针对于洁净室级别来说，和其他的数字理解方式是不一样的。其他的数字越大，级别越高；洁净室行业是数字越小级别越高。洁净室是由：空调暖通系统、内部装修系统、配电系统所组成。洁净室是由初效（G）——中效（F）——高1效（H）三级过滤后输入气流于洁净室内，然后由回风口到管道内，然后进行净化这样一直循环的原理。

无尘室工程要想达到稳定性，室内的气流必须保持一致，若如气流无法保持一致，在风速有异的情况下，简易无尘室，洁净室内就会产生乱流，无法控制洁净室的稳定性。这样就会对无尘室施工内净化级别有影响。导致洁净室内气流不一致的原因可能是：

1、人在洁净室内的活动；

2、FFU或高1效出风口出风速度不一致。

在洁净室内配套设施尽量用不锈钢材质的，不锈钢材质不易起尘、具有强耐腐蚀性。