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电子束平版印刷术是一种分辨率小于一毫米的蚀刻半导体的方法。这种技术的缺点是成本高昂、程序缓慢、必须操作于真空内、还有,电子束在固体内很快就会散开,很难维持聚焦。这缺点限制住分辨率不能小于10nm。因此,电子束平版印刷术主要是用来制备少数量特别的集成电路。
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电子 (Electron),是早发现的基本粒子,带负电,电量为1.602176634×10-19库仑,空压机维修,是电量的单元,质量为9.10956×10-31kg,常用符号e表示。1897年由英国物理学家约瑟夫·约翰·汤姆生在研究阴极射线时发现。
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2000年,集成电路问世42年以后,人们终于了解到他和他的发明的价值,三明空压机,他被授予了诺贝尔物理学奖。诺贝尔奖评审曾经这样评价基尔比:“为现代信息技术奠定了基础”。1959年,仙童半导体公司的罗伯特·罗伊斯申请了更为复杂的硅集成电路,并马上投入了商业领域。
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