半导体产品制造过程中所需的真空系统，需要具备抽除腐蚀性气体、粉尘颗粒物、有***体等功能，因此油封式机械泵无法满足半导体产业的需要。受半导体产业的驱动，干式真空泵于上世纪 80 年代出现，受益于下游集成电路、光伏、LED 等行业的持续发展进步，干式真空泵的产品类型不断增加，日本爱发科真空泵，性能、控制集成度等指标参数显著改善。截至目前，日本爱发科真空泵价格，发达***的半导体相关产业已全部使用干式真空泵，我国近年来也呈现明显的干式真空泵替代油泵的趋势，日本爱发科真空泵多少钱一台，国内的半导体行业已基本使用干式真空泵。日本爱发科真空泵
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真空泵广泛应用于过滤、样品浓缩、固相萃取等装置中，是实验室重要的基础设备。无油真空泵的适用范围也非常广泛，可以应用到以下项目中：
1、自动包装线上的真空吸拉列开袋、装料。
2、印刷机械上的纸张真空吸送。
3、各种液体注入瓶内的真空灌装。
4、各种塑料制品的真空吸塑成形。
5、物体表面在真空状态下的气密性试验。
6、纸箱及瓶类物品的标鉴真空吸送粘贴。
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2.气冷式罗茨真空泵
气冷式罗茨真空泵（即气体循环冷却真空泵）主要由转子、泵体及冷却器等组成，日本爱发科真空泵报价，其结构如图2所示。冷却气体从泵体的两侧进入泵的吸气腔，使泵体不会因压缩气体而出现过热，但对泵的抽气性能没有任何影响，由于这种特殊的结构设计，使其可以在高压差和高压缩比下长期可靠运行，这种对称结构可以保证泵在运行过程中压缩热达到平衡。
图2 气冷式罗茨泵结构示意图
气冷式罗茨真空泵泵的大允许压差可达8.7×104Pa，可以直接排入大气。在普通罗茨泵不能承受的大负载、短时间抽气，大抽速的场合中，气冷式罗茨真空泵已得到广泛的应用。
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