天河区TV551Agilent分子泵维修升级-潽拓光电

广州潽拓光电科技有限公司——TV551Agilent分子泵维修升级

对使用过的安捷伦扩散泵做过***的客户都会有一种印象，与别的扩散泵经常会结满黑黑的油垢不同，安捷伦的扩散泵喷塔往往在使用好几年后也非常干净，有客户甚至猜测安捷伦的扩散泵喷塔使用了类似不粘锅的涂层。其实，这主要是因为安捷伦扩散泵喷塔上防焦化挡板设计——在每一级喷嘴的上方，都会有一个与下面的喷塔点接触的罩子，该罩子的温度比喷塔低很多，所以，从上方滴下的油滴就不会落到高温的泵塔上焦化结垢，而是滴落在低温的挡板上，这就保证了安捷伦扩散泵的喷塔可以一直很干净，不用定期费时费力清洗

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一般的检漏仪只能设置大于某一漏率的报警值。因此在系统检漏时，当分流比过大却没有设置相应的分流比，或者当检漏阀门关闭或堵塞时，就有可能错过泄漏。安捷伦 HLD 系列检漏仪可以同时设置大于某一漏率和小于某一漏率的报警值。这样，当检漏仪的漏率小于经验的本底值或者预先安装的标准漏孔的值时，就会触发报警。另外，在使用自动排序器模式进行密封元器件的检漏时，除了对漏率可以同时设置大于和小于某一漏率的报警值外（使用背压法检漏的器件，当泄漏很大时，检漏仪的读数反而会很小），还可以设置长粗抽时间和检漏时间，从而尽可能地避免系统污染、漏气、堵塞等带来的误报、漏报等

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TV551Agilent分子泵维修升级分子泵特性可对轻质气体实现高压缩比，保证出色的极限压力无烃运行，可确保真空系统洁净远程控制器可在距离 100 m 处进行操作低振动和低噪音 (41 dB(A))，打造舒适的工作环境并且可以在敏感的实验环境下运行体积小巧，可安装在任何位置，有利于轻松集成免维护轴承，零运行成本真空计读数功能，用于监测系统压力通过 Vacuum Link 应用程序实现无线控制，以便随时随地进行泵的操作防辐射和防磁场设计，无嵌入式电子设备，可在强磁场和辐射环境下运行低电磁辐射，确保不会干扰工艺过程

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磁场对涡轮分子泵的可能影响

当涡轮分子泵的转子在磁场中旋转时，会产生涡流。这些电流倾向于阻碍转子的旋转，TV551Agilent分子泵维修升级，并导致电机的功率增大。由于泵转子不与定子接触，涡生的热量和额外的功率主要通过辐射消散。因此，转子可能会过热，即使泵体及其它静止的部件仍然是冷的。

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长期存放不用不是的秘诀有客户会认为，长时间停泵不用对分子泵的损耗会比较小。但是，分子泵长时间停泵后，在表面张力和重力的作用下，轴承内部的润滑脂可能会出现收缩成团、分布不均匀等现象，反而会影响分子泵的寿命。为了减少轴承因长期存放而造成的分布不均匀，安捷伦的分子泵控制器内置了“软启动”功能。如经过运输或者停泵的时间超过 2 个月，可以使用软启动功能启动分子泵，转速以阶梯方式缓慢加速，使得轴承润滑脂在低速阶段有充分时间重新均匀分布。如果存放时间超过 10 个月，建议送回维修中心让分子泵在的检测平台上按照既定程序加速（Re-channeling），磨合轴承。

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StarCell 的设计使其成为能抽除大量惰性气体的离子泵，该泵可以以速度和容量处理、气和氦气等惰性气体。非蒸散型吸气剂技术（NEG）是SAES集团于上世纪七十年发的。非蒸散型吸气剂对氢气、水蒸气、氮气、氧气等活性气体有很大的抽速，其通常与溅射离子泵、涡轮分子泵或者低温泵等其他真空泵结合使用，以改善系统的极限真空或者减少抽气时间。

涡轮分子泵内有多组相间动轮叶和定轮叶，每一个轮叶上有许多按一定角度斜置的叶片，如图一所示。实际的涡轮分子泵都是由多级叶列串联组成，即按动片、定片、动片等依次交替排列。动叶片转动时又类似于电风扇叶片的作用，能将气体从一侧抽到另一侧。提高分子泵的转速，有利于提高分子泵的抽速。由于叶片转速限制，如果气体分子运动速度较大，泵抽真空就比较困难。