半导体磁盘清洗机欲清洗工件放入料框内固定夹内，由人工将料框放上入料口，SC-1清洗设备，等工位机械手自动将料框送入清洗机本体，上下提升机构依照PLC的程序将料框搬送到相应高度位置;完成对工件的洗剂清洗、纯水喷淋、纯水超声漂洗、慢提拉脱水和热风干燥后，SPM清洗，送至清洗机出口，运送到卸料台出料。等丁位机械手由气制横向驱动，直线滑轨导向;上下提升由马达驱动，扬州清洗，直线导轴导向;慢提拉提升机构由变频马达驱动，直线滑块导向;上下料由上下提升机构***完成;采用触摸屏操作系统，有手动和自动切换开关及有关操作按钮，能对整个运行过程实行控制。
背景技术：
1.自动金属薄膜腐蚀清洗机，该设备主要由本体、腐蚀清洗部、自动传送机构、抖动机构、电器控制系统、给排水系统构成，是一种采用湿法腐蚀清洗工艺对金属表面进行清洗的设备，主要应用于各种金属薄膜材料表面的清洗，其机体内部配有晶圆旋转装置、片架放置夹具、机械手、旋转轴驱动电机箱等结构，酸槽和水槽之间是自动传递的，实现金属薄膜材料***入酸槽腐蚀，在进入水槽中清洗的自动化作业。
2.现有的自动金属薄膜腐蚀清洗机在使用时，机体的前表面设置有两个板缺口，且板缺口内设置了两个可以左右推动的底封板，但由于两个底封板采用前后错位的方式进行滑动设置，导致每次需要打开板缺口时，打开限度为两个底封板滑动至重合状态，清洗腐蚀，此时也只能打开板缺口百分之五十的面积，会给后续操作人员对机体内部酸槽和水槽的维护带来阻碍，为此本发明提出自动金属薄膜腐蚀清洗机。
在线清洗，无需降温和拆卸模具，避免了化学清洗法对模具的腐蚀和损害、机械清洗法对具的机械损伤及划伤，以及反复装卸导致模具精度下降等缺点。关键的是，可以免除拆卸模具及等待模具降温这两项比较耗时间的步骤，这样均可以减少暂停时间约80%-95%。干冰清洗益处： 干冰清洗可以降低工时；减少设备损坏；极有效的清洗高温的设备；减少或降低溶剂的使用；改善工作人员的安全；增进***效率；减少生产工期、降低成本、提高生产效率。
